パナソニック×日本IBM｜半導体製造分野で協業を発表、新たな高付加価値化システムを開発し、スマートファクトリーの実現を目指す

日本アイ･ビー･エム株式会社（以下、日本IBM）とパナソニック　スマートファクトリーソリューションズ株式会社（以下、パナソニック）は、半導体製造工程の効率化と高品質化を目指して、新規商品開発において協業することを発表した。

協業の背景と内容

パナソニックグループであるパナソニック　スマートファクトリーソリューションズでは、B2B事業において「現場プロセスイノベーション」をビジョンに掲げソリューション事業を展開している。「現場プロセスイノベーション」とは、製造現場での課題を、製造業として100年にわたって培ってきた知見やノウハウと、センシング技術やエッジデバイス群をも含めたすり合わせ技術により、お客様との共創によって解決する取り組みだ。

その事業の一環として、同社は半導体製造機器である「プラズマダイサー」や微細なゴミを取り除く機器「プラズマクリーナー」を提供している。今回の協業は、「プラズマダイサー」と「プラズマクリーナー」の事業領域において、日本IBMが強みとするデジタル技術の導入を目指す。両社はまず、半導体後工程をターゲットにして高付加価値化システムの開発に着手し、続いて半導体前工程も視野に入れてビジネスを展開していくという。

新たに開発する高付加価値化システムの特長

＜プラズマダイサーの高度化：レシピ自動生成＞

両社が共同で開発した演算アルゴリズムを用いることで、お客様の製品ごとに異なるダイシング形状（エッチング形状）を入力するだけで、数百種類の組み合わせからなる装置パラメータの自動作成を可能にする。

この機能を用い、製品立ち上げ時間の大幅な短縮、エンジニアリングコストの低減を図る。また、前後工程の加工品質変動に対して、装置パラメータを自動補正するAPCシステムにも応用可能で、安定した加工形状を維持し、高品質なダイシングプロセスを目指す。

＜プラズマクリーナーの高度化：FDC＞

生産中の装置稼働データを連続的に取り込み、独自のデータ解析手法で異常値を判別し、装置コンディションの自動判定を可能にする。この機能を用い、装置のメンテナンス箇所、保守タイミングを出力し、故障予知や予知保全で、メンテナンス時期の最適化と装置停止時間を短縮し、稼働率の向上を目指す。

▲プラズマダイサー（左）、プラズマクリーナー（右）

両社は今回の協業を通して、さらなるスマートファクトリー化を推進し、新たな価値を社会に提供していくことを目指すという。

※関連リンク：プレスリリース

（eiicon編集部）